検査システム用撮像レンズの選択

更新日: 2014/08/28

フレネル照明検査システムで、光学撮像検査に用いる撮像系レンズを低倍率、高倍率、及び中間倍率に分けて、MTFの計算値を紹介しました。さらに、それらレンズ群と合わせて、新たなレンズ群を紹介しながら、撮像倍率をパラメータとしたときの各レンズ群のMTF変化を合わせて紹介しています。  検査システム用撮像レンズの選択

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