フレネル照明検査システム

1.概要

近来、半導体基板や、電子基板など精密機器の製造検査において、正確な被検査物体の画像を撮影し、 コンピューターでその画像を解析する手法が用いられています。その時、いかに正確な被検査物体の画像を 撮影するかが問題になります。具体的には、解像度、コントラスト及び焦点深度の3つの数値が、要件を満たすことです。(株)目白ゲノッセンは、これらの要件を満たす光学撮像検査製品を「フレネル照明検査システム」と称して、安価に提供いたします。 「フレネル照明検査システム」は撮像系と照明系の製品から構成されます。照明系は被検査物体であるオブジェクトを照明するもので、撮像系は照射されたオブジェクトを結像して、撮像素子等での撮像を可能とします。(右写真参照)。 被検査物体の必要な画像の精細度は、解像度で表わすことができます。例えば、10umの解像度が要求される場合、、必要な照明光の波長を選択しその波長で、10umの解像度が得られる結像レンズ及び10umを撮像できるCCDが必要になります。また、鮮明な画像を得るためには均一な照明が必要であり、かつ効率的な照明が望ましいことになります。そのために、「フレネル照明検査システム」は、LED光源及び、独創的なアイデアで照明むらを抑えたフレネルレンズを採用することで照明光の均一性を実現しています。これらの各要素がそろって、初めて検査に必要な正確な画像を得ることができます(下写真参照)。(株)目白ゲノッセンではこれら様々な条件に対応する各種撮像系とフレネル照明系をご用意しており、それぞれ個々に組み合わて、あるいは単独にてご購入いただくことが出来ます。 flenelpic03
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2.製品構成

(株)目白ゲノッセンは「フレネル照明検査システム」を下記のように撮像系と照明系に分けて販売いたします。 ・撮像系: 撮像系は各種撮像レンズのみで撮像素子は付属されていません。撮像レンズは被検査物体の大きさ、必要な精細度に応じて各種用意されています。大きく分けると下表のようになります。 [分類]
固定焦点レンズ(可視光)
高倍率固定焦点レンズ
固定焦点レンズ(紫外線光)
浮動焦点レンズ
浮動焦点レンズ倍率固定化(高倍率)
浮動焦点レンズ倍率固定化(低倍率)
・フレネル照明系: フレネル照明系はLED照明、板状ロッドプリズム、コリメータレンズ、シグマ絞り、及びフレネルレンズとアポダイジングフィルターから構成されています。照明系製品は撮像系の各製品に対応して、照明光の波長、及び照明する面積が最適になるように品揃えされています。